Сверхвысокий вакуумный затвор серии CC
Сверхвысоковакуумный дисковый затвор серии CC с ручным колесом и винтовым приводом, рычажным (тяговым) механизмом динамической связи, приводом, обеспечивающим осевое перемещение диска затвора, позволяет открывать и закрывать затвор, обеспечивая включение и выключение потока воздуха в сверхвысоковакуумной системе.
Модельный ряд: CC-63, CC-80, CC-100, CC-150, CC-200, CC-250, CC-320, CC-400
|
Применимый диапазон (Па) |
105～1,3×10-7 |
|
Скорость утечки газа (Па.Л/с) |
DN≤200 для ≤1,3×10-7 |
|
DN≥250 для ≤6,7×10-7 |
|
|
Макс. Раб.Температура (℃) |
≤150 (кроме приводного устройства) |
|
Перепад давления при открытии пластин затвора (Па) |
≤2,7×103 |
|
Уплотнительный материал тарелки затвора |
Фтористый каучук |
|
Уплотнительный материал для шпинделя |
Сильфон из нержавеющей стали |
