Вакуумные диффузионные насосы

---

Компания "ТЕРМОКОМПОНЕНТЫ"  предлагает клиентам широкий перечень диффузионных вакуумных насосов от проверенных производителей с гарантийным и пост-гарантийным обслуживанием.

Отдел продаж вакуумных и водородных печей, вакуумного оборудования, вакуумных насосов и вакуумных комплектующих: ‪+7 (495) 137-50-90‬

Когда требуется создать ультраглубокий и устойчивый вакуум, где механические насосы уже не справляются, оптимальным решением становится диффузионный вакуумный насос. Это оборудование, проверенное десятилетиями, остаётся востребованным в высокотехнологичных отраслях, благодаря своей простоте, мощности и высокой производительности при работе в диапазоне от 10⁻³ до 10⁻⁷ мбар.

Диффузионный насос работает по принципу инжекции пара специальной жидкости (обычно силиконового или минерального масла), которая с большой скоростью выбрасывается в виде струй. Эти струи захватывают молекулы газа из вакуумной камеры и уносят их вниз, к форвакуумному насосу.

В отличие от механических насосов, в диффузионном нет движущихся частей — это делает его надёжным, износостойким и устойчивым к пиковым нагрузкам.

Применение диффузионных насосов:

Научные исследования и лаборатории:
— вакуумные установки для физики твёрдого тела, ускорители, спектрометры, вакуумные стенды.

Электронная промышленность:
— производство микросхем, плазменное травление, нанесение покрытий, вакуумная литография.

Металлообработка и оптика:
— вакуумное напыление, металлизация, производство оптических линз и зеркал.

Космическая отрасль и авиастроение:
— испытания в условиях высокого вакуума, термовакуумные камеры.

Вакуумная упаковка, дегазация и сушка:
— в промышленности, где важна высокая производительность и стабильный режим.

Преимущества диффузионных насосов:

- Глубокий вакуум
Позволяют достигать давления до 10⁻⁷ мбар, что подходит даже для тонкоплёночных и научных задач.

- Высокая производительность
Модели доступны с пропускной способностью от 50 до 30 000 л/с — от лабораторных до промышленных масштабов.

- Отсутствие движущихся частей
Минимальный износ, высокая надёжность и срок службы 10–15 лет и более при правильной эксплуатации.

- Устойчивость к загрязнению
Работают в условиях, где возможны остатки пыли, паров или агрессивных компонентов.

- Отличное соотношение цена/вакуум
По сравнению с турбомолекулярными насосами — в 3–5 раз дешевле при сопоставимой глубине вакуума.

Схема работы диффузионного насоса:

1. Внизу насоса находится нагреватель, который испаряет специальную жидкость;
2. Образующийся пар подаётся вверх по центральной трубе;
3. Через сопла пар выходит вниз со сверхзвуковой скоростью, захватывая молекулы газа;
4. Захваченные молекулы выбрасываются к выходу и удаляются форвакуумным насосом;
5. Пар конденсируется на стенках, охлаждаемых водой или маслом, и возвращается вниз.

Для эффективной работы требуется:

• форвакуумный насос (обычно пластинчато-роторный);
• охлаждение (водяное или масляное);
• ловушка или холодный экран (для защиты камеры от обратного потока масла).

Технические характеристики (типовой диапазон):

Параметр	Значение
Остаточное давление	до 1·10⁻⁷ мбар
Пропускная способность	от 50 до 30 000 л/с
Тип рабочей жидкости	Силиконовое масло / минеральное
Время выхода на режим	от 10 до 60 мин (зависит от объёма)
Охлаждение	Водяное
Совместимые форнасосы	Роторные, винтовые
Температура масла	~200 °C

Почему выбирают нас?

- Поставка насосов от проверенных производителей (аналогов Agilent, НВТ, Pfeiffer): отечественные и зарубежные диффузионные насосы (HHV, ULVAC, НВТ, Pfeiffer и др.)

- Подбор под задачу — лаборатория, вакуумная камера, технологическая линия;
- Полный комплект — насос + масло + охладитель + ловушка + автоматика;
- Пусконаладка, обучение, сервис — по всей России и СНГ;
- Гарантия от 12 до 36 месяцев и склад запчастей.

Когда вам нужен диффузионный насос:

- Нужно создать глубокий вакуум в большой камере или установке
- Необходима высокая производительность и надёжность
- Вы ищете решение долговечное и недорогое в эксплуатации
- Допускается использование охлаждения и форнасоса
- Имеется контроль над возвратом паров масла (установлена ловушка)