| Модель |
Единица измерения |
EMP-600 |
EMP- 1200 |
EMP- 1600 |
EMP-3600 |
EMP-4000 |
|||||
|
Входной фланец |
мм |
150CF |
160 ISO-K |
200CF |
200 ISO-K |
250CF |
250CF |
400 ISO-K |
400 ISO-K |
||
|
Выходной фланец |
мм |
40 KF |
40 KF |
50 KF |
100 ISO-K |
100 ISO-K |
|||||
|
Быстрота действия |
Л/с |
600 |
1200 |
1600 |
3600 |
4000 |
|||||
|
Степень сжатия |
N2 |
1 × 109 |
>109 |
>109 |
>108 |
>108 |
|||||
|
H2 |
8 × 103 |
>1× 104 |
>1× 104 |
>5× 102 |
>5× 102 |
||||||
|
Остаточное давление |
Па |
<8× 10-8 |
<5× 10-7 |
<8× 10-8 |
<5× 10-7 |
<8× 10-8 |
<5× 10-7 |
<2×10-6 |
<2×10-6 |
||
|
Скорость вращения |
обороты в минуту |
24000 |
27000 |
27000 |
13500 |
15000 |
|||||
|
Значение вибрации |
мкм |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.15 |
≤0.15 |
≤0.15 |
|||||
|
Время запуска |
мин |
<4.5 |
<5 |
<6 |
<14 |
<18 |
|||||
|
Производительность форвакуумного насоса |
Л/с |
4-8 |
8- 15 |
15 |
30-70 |
30-70 |
|||||
|
Способ охлаждения |
/ |
Воздух / Вода |
Воздух / Вода |
Воздух / Вода |
Вода |
Вода |
|||||
|
Окружающая среда |
℃ |
≤35 |
≤35 |
≤35 |
≤35 |
≤35 |
|||||
|
Охлаждающая вода
|
Температура |
℃ |
≤25 |
≤25 |
≤25 |
≤25 |
≤25 |
||||
|
Потребление |
л/мин |
1-2 |
1-2 |
1-2 |
2 |
2 |
|||||
|
Положение |
/ |
Вертикальное ± 5 ° |
Вертикальное ± 5 ° |
Вертикальное ± 5 ° |
Вертикальное ± 5 ° |
Вертикальное ± 5 |
|||||
|
Вес |
Кг |
25 |
29 |
31 |
100 |
100 |
|||||
|
Прочее |
/ |
С электрическим контроллером и кабелями длиной 5 м |
|||||||||
Преимущество:
Высокая скорость откачки и степень сжатия
Отсутствие критичности и эффекта памяти при закачке газа
С чистым и высоким (сверхвысоким) вакуумом, без охлаждающего фильтра и маслоотделителя
Высокая интенсивность вращения, стабильность и длительный срок службы
Короткое время запуска
Низкий механический расход
Применение:
Молекулярный вакуумный насос серии EMP широко используется в лабораториях, для анализа с помощью приборов, в лазерной технике, при вакуумном напылении покрытий, в оборудовании для производства полупроводников, для вакуумной дегазации, в осветительной, фотоэлектрической, аэрокосмической отраслях, для вакуумной сушки и т. д.
|
Модель |
Единица измерения |
EMP-80 |
EMP-300 |
EMP-650 |
EMP-1300 |
EMP-2000 |
|||||
|
Входной фланец |
мм |
DN63 ISO-K |
100CF |
100 ISO-K |
150CF |
160 ISO-K |
200CF |
200 ISO-K |
250CF |
250 ISO-K |
|
|
Выходной фланец |
мм |
KF16 |
25KF |
40 KF |
40 KF |
50 KF |
|||||
|
Быстрота действия |
Л/с |
80 |
300 |
650 |
1300 |
2000 |
|||||
|
Степень сжатия |
N2 |
1 × 1011 |
>108 |
>109 |
>109 |
>109 |
|||||
|
H2 |
1,4 × 105 |
>1× 103 |
>1× 104 |
>1× 104 |
>1× 104 |
||||||
|
Остаточное давление |
Па |
<1× 10-5 |
<8× 10-7 |
<2× 10-7 |
<5× 10-7 |
<8×10-8 |
<5× 10-7 |
<8×10-8 |
<5× 10-7 |
||
|
Скорость вращения |
обороты в минуту |
60000 |
33000 |
24000 |
24000 |
24000 |
|||||
|
Подшипник |
Керамический подшипник со смазкой |
||||||||||
|
Значение вибрации |
мкм |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.1 |
≤0.1 |
|||||
|
Время запуска |
мин |
<2 |
<4 |
<5 |
<5 |
<5 |
|||||
|
Производительность форвакуумного насоса |
Л/с |
0,5–1 |
2 |
4-8 |
8- 15 |
8- 15 |
|||||
|
Способ охлаждения |
/ |
Воздух |
Вода /Воздух |
Вода /Воздух |
Вода /Воздух |
Вода /Воздух |
|||||
|
Окружающая среда |
℃ |
≤25 |
≤25 |
≤25 |
≤25 |
≤25 |
|||||
|
Охлаждающая вода
|
Температура |
℃ |
/ |
≤20 |
≤20 |
≤20 |
≤20 |
||||
|
Потребление |
л/мин |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
|||||
|
Положение |
/ |
Любой |
Любой |
Любой |
Любой |
Любой |
|||||
|
Вес |
Кг |
2.8 |
11 |
22 |
27 |
30 |
|||||
|
Прочее |
/ |
С встроенным контроллером |
С электрическим контроллером и кабелями длиной 5 м |
||||||||
Преимущество:
1) Высокая стабильность
2) Легко достигается высокий уровень вакуума без использования масла
3) То же преимущество, что и у турбомолекулярного насоса
Применение:
Его можно широко использовать в различных областях вакуумных технологий, таких как фотовольтаика, освещение, аэрокосмическая промышленность, производство полупроводников, энергетика, лазеры, бытовая техника, производство материалов, автомобилестроение и т. д.
