Турбомолекулярные вакуумные насосы EMP

Модель

Единица измерения

EMP-600

EMP- 1200

EMP- 1600

EMP-3600

EMP-4000

Входной фланец

мм

150CF

160 ISO-K

200CF

200 ISO-K

250CF

250CF

400 ISO-K

400 ISO-K

Выходной фланец

мм

40 KF

40 KF

50 KF

100 ISO-K

100 ISO-K

Быстрота действия

Л/с

600

1200

1600

3600

4000

Степень сжатия

N2

1 × 10⁹

>10⁹

>10⁹

>10⁸

>10⁸

H2

8 × 10³

>1× 10⁴

>1× 10⁴

>5× 10²

>5× 10²

Остаточное давление

Па

<8× 10^-8

<5× 10^-7

<8× 10^-8

<5× 10^-7

<8× 10^-8

<5× 10^-7

<2×10^-6

<2×10^-6

Скорость вращения

обороты в минуту

24000

27000

27000

13500

15000

Значение вибрации

мкм

≤0.1

≤0.1

≤0.15

≤0.15

≤0.15

Время запуска

мин

<4.5

<5

<6

<14

<18

Производительность форвакуумного насоса

Л/с

4-8

8- 15

15

30-70

30-70

Способ охлаждения

/

Воздух / Вода

Воздух / Вода

Воздух / Вода

Вода

Вода

Окружающая среда

℃

≤35

≤35

≤35

≤35

≤35

Охлаждающая вода

Температура

℃

≤25

≤25

≤25

≤25

≤25

Потребление

л/мин

1-2

1-2

1-2

2

2

Положение

/

Вертикальное ± 5 °

Вертикальное ± 5 °

Вертикальное ± 5 °

Вертикальное ± 5 °

Вертикальное ± 5

Вес

Кг

25

29

31

100

100

Прочее

/

С электрическим контроллером и кабелями длиной 5 м