|
Входной фланец (мм) |
400 ISO — K |
|
|
Выходной фланец (мм) |
100 ISO — K |
|
|
Скорость откачки (Л /С) |
3600 |
|
|
Степень сжатия |
N2 |
>108 |
|
H2 |
>5X102 |
|
|
Предельное давление (Па) |
<2X10-6 |
|
|
Номинальная частота вращения (об/мин) |
13500 |
|
|
Вибрация |
≤0,15 мкм |
|
|
Время начала (мин) |
<11 |
|
|
Время остановки (мин) |
<20 |
|
|
Рекомендуемый роторный насос |
30–70 л/с |
|
|
Способ охлаждения |
Водяное охлаждение |
|
|
Температура водяного охлаждения (℃) |
≤25 |
|
|
Расход охлаждающей воды (л/мин) |
2 |
|
|
Температура выпечки корпуса насоса |
<120℃ |
|
|
Режим установки |
Вертикальный ±5 ° |
|
|
Вес (кг) |
≈100 |
|
Турбомолекулярный насос EAST 300
|
Модель |
EV-300Z |
EV-300ZF |
||||
|
Входной фланец (мм) |
100 CF |
100 ISO-K |
100 CF |
100 ISO-K |
||
|
Выходной фланец (мм) |
25 KF |
25 KF |
||||
|
Скорость откачки (л/с) |
300 |
300 |
||||
|
Степень сжатия |
N2 |
>108 |
>108 |
|||
|
H2 |
>1X103 |
>1X103 |
||||
|
Остаточное давление (Па) |
<3X10-7 |
<2X10-6 |
<3X10-7 |
<2X10-6 |
||
|
Скорость вращения (об/мин) |
30000 |
30000 |
||||
|
Время разгона (мин) |
<4 |
<4 |
||||
|
Быстрота действия форвакуумного насоса |
2 л/с |
2 л/с |
||||
|
Способ охлаждения |
Воздушное охлаждение |
Воздушное охлаждение |
||||
|
Монтаж |
Любая позиция |
Любая позиция |
||||
|
Вес (кг) |
11 |
11 |
||||
Турбомолекулярные насосы с воздушным охлаждением серии EV
|
Модель |
EV-600 EV-600F |
EV-1200 EV-1200F
|
EV-1600 EV-1600F |
|||||
|
Входной фланец (мм) |
150 CF |
160 ISO-K |
200 CF |
200 ISO-K |
250 CF |
250 ISO-K |
||
|
Выходной фланец (мм) |
40 KF |
40 KF |
50 KF |
|||||
|
Скорость откачки (л/с) |
600 |
1200 |
1600 |
|||||
|
Степень сжатия |
N2 |
>109 |
>109 |
>109 |
||||
|
H2 |
>8X103 |
>1X104 |
>1X104 |
|||||
|
Остаточное давление (Па) |
<8X10-8 |
<5X10-7 |
<8X10-8 |
<5X10-7 |
<8X10-8 |
<5X10-7 |
||
|
Скорость вращения (об/мин) |
24000 |
24000 |
24000 |
|||||
|
Вибрация |
≤0,1 мкм |
≤0,1 мкм |
≤0,1 мкм |
|||||
|
Время разгона (мин) |
<4.5 |
<5 |
<6 |
|||||
|
Быстрота действия форвакуумного насоса |
4–8 л/с |
8–15 л/с |
15 л/с |
|||||
|
Способ охлаждения |
Водяное (воздушное) охлаждение |
Водяное (воздушное) охлаждение |
Водяное (воздушное) охлаждение |
|||||
|
Температура охлаждающей воды (℃) |
≤20 |
≤20 |
≤20 |
|||||
|
Температура окружающей среды (℃) |
≤35 |
≤35 |
≤35 |
|||||
|
Количество потока охлаждающей воды |
1–2 л/мин |
1–2 л/мин |
1–2 л/мин |
|||||
|
Монтаж |
Вертикальный ±5 ° |
Вертикальный ±5 ° |
Вертикальный ±5 ° |
|||||
|
Вес (кг) |
25 |
29 |
31 |
|||||
Турбомолекулярный насос с воздушным охлаждением серии EV обладает такими характеристиками, как высокая скорость откачки и степень сжатия, что расширяет область применения молекулярного насоса.
Составной молекулярный насос не обладает избирательностью и эффектом памяти в отношении откачиваемого газа. Благодаря высокой степени сжатия для газов с большой молекулярной массой насос может создавать чистый высокий и сверхвысокий вакуум без использования форвакуумного насоса и маслоотделителя. Он широко используется в различных областях электроники, металлургии, химической промышленности, научных исследованиях и вакуумных технологиях.
