Современные вакуумные процессы невозможны без точного и стабильного контроля давления. Производство микросхем, вакуумная упаковка, металлургия, химия и фармацевтика — везде, где используется вакуум, критично знать его уровень в реальном времени.
Вакуумметр — это ключевой элемент вакуумной системы, отвечающий за мониторинг и управление рабочим диапазоном давления. Он позволяет избежать выхода оборудования из строя, контролировать технологические параметры и повысить энергоэффективность процессов.
Виды вакуумметров:
В зависимости от диапазона измерений и принципа действия вакуумметры делятся на несколько основных типов:
1. Термопарные и Пирани-вакуумметры (низкий и средний вакуум)
Принцип работы: основан на изменении теплопроводности газа при изменении давления. В частности, датчики Пирани используют нагреваемую проволоку, теплоотдача которой зависит от плотности газа.
Диапазон измерений: от ~10⁻³ до 10¹ мбар
Преимущества:
- Простота конструкции
- Быстрый отклик
- Хорошее соотношение цена/точность
- Надежность в работе
Применение:
- Вакуумные печи
- Упаковочное оборудование
- Аналитические приборы
- Системы с пластинчато-роторными насосами
2. Ионизационные вакуумметры (высокий и сверхвысокий вакуум)
Принцип работы: основан на ионизации остаточного газа под действием электронного пучка. Измеряется ток ионов, пропорциональный давлению.
Диапазон измерений: от 10⁻⁵ до 10⁻¹¹ мбар
Особенности:
- Чувствительность к чистоте среды
- Требуют прогрева и стабилизации
- Используются в научных и технологичных установках
Применение:
- Научные лаборатории
- Вакуумные камеры и испытательные стенды
- Установки молекулярной и электронной литографии
3. Широкодиапазонные вакуумметры (комбинированные)
Сочетают в одном корпусе два или более принципов измерения, например:
- Пирани + ионизационный датчик
- Пирани + емкостный датчик
Преимущества:
- Один прибор — полный контроль от атмосферного до сверхвысокого вакуума
- Нет необходимости переключать приборы или использовать несколько портов
- Высокая точность и автоматическая калибровка
- Удобство интеграции в системы управления
Типовой диапазон: от 10⁻⁹ до 1000 мбар
Интерфейсы: аналоговый выход, RS232/RS485, Profibus, EtherCAT, CANopen
Применение:
- Установки с многоступенчатой откачкой (механическая + турбомолекулярная)
- Автоматизированные вакуумные системы
- Полупроводниковое производство
- Технологическое оборудование
Что мы предлагаем:
- Широкий выбор вакуумметров:
- Пирани, термопарные, ионизационные, емкостные, комбинированные
- С фланцами KF, DN, CF, резьбовыми соединениями
- Цифровые дисплеи, LED-индикаторы, сенсорные панели
- Корпуса из нержавеющей стали, устойчивые к коррозии и химии
- Точные решения под любые задачи:
- Диапазон: от атмосферы до 10⁻¹¹ мбар
- Погрешность: от ±0.2% до ±15% в зависимости от модели
- Температурная компенсация, автокалибровка, встроенные фильтры
- Интеграция с вашими системами:
- Готовые решения для PLC, SCADA, LabVIEW, MODBUS и других промышленных протоколов
- Настраиваемые выходы (аналоговые 0–10 В, 4–20 мА)
Где используются наши вакуумметры:
- Производство вакуумной упаковки и формовки
- Фармацевтика, лиофильная сушка, стерилизация
- Машиностроение — вакуумная пайка, металлизация
- Нефтехимия, ПВХ-экструзия, дегазация
- Научные исследования, лазерные и плазменные установки
- Полупроводники и дисплеи — чистые зоны, камеры ALD, PVD, CVD
Преимущества работы с нами:
- Техническая экспертиза: помогаем подобрать решение с учётом вашей вакуумной схемы, типа насоса и производственного процесса
- Поддержка по интеграции: подключение к контроллерам, настройка интерфейсов, консультации
- Оперативная поставка: складские позиции и прямые поставки от провренных производителей.
- Гарантия и документация: паспорта, калибровка, протоколы, сертификаты
