Когда требуется создать ультраглубокий и устойчивый вакуум, где механические насосы уже не справляются, оптимальным решением становится диффузионный вакуумный насос. Это оборудование, проверенное десятилетиями, остаётся востребованным в высокотехнологичных отраслях, благодаря своей простоте, мощности и высокой производительности при работе в диапазоне от 10⁻³ до 10⁻⁷ мбар.
Диффузионный насос работает по принципу инжекции пара специальной жидкости (обычно силиконового или минерального масла), которая с большой скоростью выбрасывается в виде струй. Эти струи захватывают молекулы газа из вакуумной камеры и уносят их вниз, к форвакуумному насосу.
В отличие от механических насосов, в диффузионном нет движущихся частей — это делает его надёжным, износостойким и устойчивым к пиковым нагрузкам.
Применение диффузионных насосов:
Научные исследования и лаборатории:
— вакуумные установки для физики твёрдого тела, ускорители, спектрометры, вакуумные стенды.
Электронная промышленность:
— производство микросхем, плазменное травление, нанесение покрытий, вакуумная литография.
Металлообработка и оптика:
— вакуумное напыление, металлизация, производство оптических линз и зеркал.
Космическая отрасль и авиастроение:
— испытания в условиях высокого вакуума, термовакуумные камеры.
Вакуумная упаковка, дегазация и сушка:
— в промышленности, где важна высокая производительность и стабильный режим.
Преимущества диффузионных насосов:
- Глубокий вакуум
Позволяют достигать давления до 10⁻⁷ мбар, что подходит даже для тонкоплёночных и научных задач.
- Высокая производительность
Модели доступны с пропускной способностью от 50 до 30 000 л/с — от лабораторных до промышленных масштабов.
- Отсутствие движущихся частей
Минимальный износ, высокая надёжность и срок службы 10–15 лет и более при правильной эксплуатации.
- Устойчивость к загрязнению
Работают в условиях, где возможны остатки пыли, паров или агрессивных компонентов.
- Отличное соотношение цена/вакуум
По сравнению с турбомолекулярными насосами — в 3–5 раз дешевле при сопоставимой глубине вакуума.
Схема работы диффузионного насоса:
- Внизу насоса находится нагреватель, который испаряет специальную жидкость;
- Образующийся пар подаётся вверх по центральной трубе;
- Через сопла пар выходит вниз со сверхзвуковой скоростью, захватывая молекулы газа;
- Захваченные молекулы выбрасываются к выходу и удаляются форвакуумным насосом;
- Пар конденсируется на стенках, охлаждаемых водой или маслом, и возвращается вниз.
Для эффективной работы требуется:
- форвакуумный насос (обычно пластинчато-роторный);
- охлаждение (водяное или масляное);
- ловушка или холодный экран (для защиты камеры от обратного потока масла).
Технические характеристики (типовой диапазон):
|
Параметр |
Значение |
|
Остаточное давление |
до 1·10⁻⁷ мбар |
|
Пропускная способность |
от 50 до 30 000 л/с |
|
Тип рабочей жидкости |
Силиконовое масло / минеральное |
|
Время выхода на режим |
от 10 до 60 мин (зависит от объёма) |
|
Охлаждение |
Водяное |
|
Совместимые форнасосы |
Роторные, винтовые |
|
Температура масла |
~200 °C |
Почему выбирают нас?
- Поставка насосов от проверенных производителей (аналогов Agilent, НВТ, Pfeiffer): отечественные и зарубежные диффузионные насосы (HHV, ULVAC, НВТ, Pfeiffer и др.)
- Подбор под задачу — лаборатория, вакуумная камера, технологическая линия;
- Полный комплект — насос + масло + охладитель + ловушка + автоматика;
- Пусконаладка, обучение, сервис — по всей России и СНГ;
- Гарантия от 12 до 36 месяцев и склад запчастей.
Когда вам нужен диффузионный насос:
- Нужно создать глубокий вакуум в большой камере или установке
- Необходима высокая производительность и надёжность
- Вы ищете решение долговечное и недорогое в эксплуатации
- Допускается использование охлаждения и форнасоса
- Имеется контроль над возвратом паров масла (установлена ловушка)
