Керамические подложки являются важным элементом в различных отраслях современной электроники и техники. Эти подложки, изготовленные из различных керамических материалов, играют ключевую роль в производстве электронных компонентов, интегральных схем, светодиодов (LED), сенсоров и других устройств. Благодаря своим уникальным физическим и химическим свойствам, керамические подложки находят применение в высокотехнологичных и критически важных областях, где требуются высокая теплопроводность, изоляционные свойства, механическая прочность и стойкость к химическим воздействиям.
Материалы для керамических подложек
Основными материалами, используемыми для изготовления керамических подложек, являются оксид алюминия (Al₂O₃), нитрид алюминия (AlN), карбид кремния (SiC) и оксид бериллия (BeO). Каждый из этих материалов обладает специфическими свойствами, которые делают их пригодными для различных применений:
-
Оксид алюминия (Al₂O₃):
- Теплопроводность: Средняя.
- Диэлектрическая проницаемость: Высокая.
- Механическая прочность: Высокая.
- Температурная стойкость: Высокая.
- Применение: Широко используется в производстве подложек для микросхем и других электронных компонентов благодаря своей высокой механической прочности и диэлектрическим свойствам.
-
Нитрид алюминия (AlN):
- Теплопроводность: Очень высокая.
- Диэлектрическая проницаемость: Низкая.
- Механическая прочность: Высокая.
- Температурная стойкость: Высокая.
- Применение: Идеально подходит для высокотемпературных приложений и там, где требуется эффективное отведение тепла, например, в мощных электронных устройствах и светодиодах.
-
Карбид кремния (SiC):
- Теплопроводность: Высокая.
- Диэлектрическая проницаемость: Средняя.
- Механическая прочность: Очень высокая.
- Температурная стойкость: Очень высокая.
- Применение: Используется в условиях экстремальных температур и высоких напряжений, а также в силовой электронике.
-
Оксид бериллия (BeO):
- Теплопроводность: Очень высокая (выше, чем у AlN).
- Диэлектрическая проницаемость: Низкая.
- Механическая прочность: Средняя.
- Температурная стойкость: Высокая.
- Применение: Используется в высокочастотной электронике и в устройствах, требующих отличного теплоотвода, однако из-за токсичности бериллия его применение ограничено.
Применение керамических подложек
Керамические подложки находят применение в различных областях техники и электроники, где важны их уникальные свойства:
-
Микроэлектроника:
- Керамические подложки широко используются в качестве основы для создания интегральных схем и микропроцессоров. Они обеспечивают необходимую изоляцию между слоями схемы, а также эффективный отвод тепла, что критически важно для работы современных высокопроизводительных процессоров.
-
Светодиодная техника:
- В светодиодных устройствах (LED) керамические подложки обеспечивают надежное крепление кристалла LED и способствуют эффективному отводу тепла, что продлевает срок службы и повышает яркость светодиодов.
-
Радиоэлектроника:
- В высокочастотной радиоэлектронике и в микроволновых устройствах керамические подложки используются из-за их низких диэлектрических потерь и высокой устойчивости к воздействию высоких температур и радиации.
-
Силовая электроника:
- В устройствах силовой электроники, таких как инверторы и преобразователи напряжения, керамические подложки обеспечивают механическую прочность, высокую теплопроводность и надежную изоляцию, что важно для стабильной работы в условиях высоких токов и напряжений.
-
Сенсоры и датчики:
- Керамические подложки используются в производстве различных сенсоров, включая датчики давления, температуры и газа, благодаря их устойчивости к агрессивным средам и стабильности свойств в широком диапазоне температур.
Преимущества керамических подложек
Керамические подложки обладают рядом преимуществ, которые делают их предпочтительными в высокотехнологичных приложениях:
-
Высокая теплопроводность: Материалы, такие как нитрид алюминия и оксид бериллия, обладают отличной теплопроводностью, что позволяет эффективно отводить тепло от мощных электронных компонентов, предотвращая их перегрев.
-
Электрическая изоляция: Керамические подложки обеспечивают превосходную изоляцию, что важно для предотвращения коротких замыканий и обеспечения стабильной работы электронных схем.
-
Механическая прочность: Керамика обладает высокой твердостью и прочностью, что делает такие подложки устойчивыми к механическим воздействиям, включая вибрации и удары.
-
Химическая стойкость: Керамические материалы устойчивы к агрессивным химическим средам, что позволяет использовать их в условиях, где другие материалы могут быстро разрушаться.
-
Температурная стойкость: Керамические подложки сохраняют свои свойства при экстремальных температурах, что делает их незаменимыми в высокотемпературных приложениях.
Развитие 3D-печати и других аддитивных технологий также открывает новые возможности для создания сложных структур и геометрий на керамических подложках, что может значительно расширить их применение в различных отраслях.
ХАРАКТЕРИСТИКИ ПОДЛОЖЕК ИЗ AL2O3:
Содержание Al2O3 % |
60 |
75 |
80 |
85 |
92 |
95 |
99 |
99,7 |
|
Плотность г/см3 |
3 |
3.1 |
3.3 |
3.4 |
3.6 |
3.7 |
3.81 |
3.91 |
|
Предел прочности при изгибе (Мпа) |
205 |
280 |
216 |
230 |
312 |
304 |
340 |
370 |
|
Температурное расширение (х10-6/)25-800 |
7.1 |
7.6 |
7.6 |
7.6 |
7.5 |
7.3 |
7.6 |
7.6 |
|
Диэлектрическая прочность (КВ/мм) |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
10 |
|
Удельное сопротивление (Ω⋅ см) |
20оС |
*1014 |
*1014 |
*1014 |
*1014 |
*1014 |
*1014 |
*1014 |
*1014 |
300оС |
*1013 |
*1013 |
*1013 |
*1013 |
*1013 |
*1013 |
*1013 |
*1013 |
|
Максимальная температура эксплуатации (оС) |
1300 |
1300 |
1350 |
1400 |
1500 |
1550 |
1700 |
1750 |
|
Твердость по Моссу |
7.5 |
7.5 |
7.5 |
7.5 |
9 |
9 |
9 |
9.5 |
ХАРАКТЕРИСТИКИ ПОДЛОЖЕК ИЗ ZRO2:
Параметр |
|
Единица измерения |
|
Состав |
ZrO2 |
% |
94.5 |
Ye2O3 |
% |
5.5 |
|
Физические характеристики |
Термостойкость |
оС |
2200 |
Плотность |
г/см3 |
6.05 |
|
Водопоглощение |
% |
0 |
|
Предел прочности при изгибе |
МПа |
1000 |
|
Механические характеристики |
Твердость по Викерсу |
ГПа |
89 |
Модуль эластичность |
ГПа |
200 |
|
Коэффициент Пуассона |
|
0.31 |
|
Тепловые характеристики |
Коэффициент линейного расширения |
(20-500 оС) 10-6/ оС |
10 |
Теплопроводность |
В/(m/k) |
2.5 |
|
Удельная теплоемкость |
*10-3 кДж/(кг*К) |
0.5 |
ХАРАКТЕРИСТИКИ ПОДЛОЖЕК ИЗ AIN:
Вид параметра |
Параметр |
Единица |
Тип |
|||
AN170 |
AN200 |
AN220 |
||||
Основные параметры |
Цвет |
- |
Серый |
Серый |
Бежевый |
|
Водопоглощение |
% |
0 |
0 |
0 |
||
Плотность |
г/м3 |
≥3.3 |
≥3.3 |
≥3.26 |
||
Шероховатость поверхности |
um |
0.1~0.6 |
0.1~0.6 |
0.1~0.6 |
||
Термические параметры |
Теплопроводность (20оС) |
В/м.к |
≥170 |
≥200 |
≥220 |
|
Коэффициент температурного расширения |
(20оС~300 оС) |
(x10-6/oC) |
4.6 |
4.6 |
4.5 |
|
(40оС~800 оС) |
5.2 |
5.2 |
5.2 |
|||
Механические параметры |
Прочность на изгиб |
МПа |
≥450 |
≥300 |
≥200 |
|
Модуль упругости |
ГПа |
320 |
310 |
31- |
||
Твердость по Мосс |
- |
8 |
8 |
8 |
||
Электрические параметры |
Диэлектрическая прочность |
КВ/мм |
≥17 |
≥16 |
≥15 |
|
Объемное сопротивление |
Ω⋅ м |
≥1014 |
≥1014 |
≥1013 |
||
Диэлектрическая постоянная |
- |
9 |
8.6 |
8.5 |
||
Диэлектрические потери |
Х10-4 |
2.98 |
2 |
7 |