Характеристики трубчатых печей PECVD:
-Трубчатая печь позволяет выбрать диаметр трубы и длину зоны нагрева, при этом оба конца трубы печи оснащены высоковакуумным уплотнительным фланцем из нержавеющей стали;
-Вакуумная система позволяет выбрать различные вакуумные насосы в соответствии с требованиями испытаний, вакуум в роторно-лопастном вакуумном насосе: ⩽5 Па, вакуумный блок молекулярного насоса 1х10-4Па;
- В системе подачи газа можно выбрать 3-канальную ручную поплавковую систему и 3-канальную автоматическую систему расхода.
- Для измерения вакуума используется цифровая вакуумметрическая машина - вакуумметр Pirani.
- Выходная мощность 200 Вт,ЗOOW и 500 Вт
- Агрегат оснащен встроенным цифровым коммуникационным портом RS485 и USB-адаптером для дополнительной настройки, которые могут быть подключены к RS для дистанционного управления и мониторинга, а система управления и мониторинга может также сохранять или экспортировать результаты тестирования.
|
Модель |
STGP-40-12 |
STGP-60-12 |
STGP-80-12 |
STGP-100-12 |
|
Вн. Диам. Кварцевой трубы*длин. |
Ф40*1200мм |
Ф60*1200мм |
Ф80*1200мм |
Ф100*1200мм |
|
Тип |
настольный |
|||
|
Структура печи |
Камера из оксида алюминия, система контроля температуры, нагревательные элементы, корпус печи, электрическая часть, аксуссуары |
|||
|
Макс. Темп., С |
1200 |
|||
|
Рабоч. Темп. |
1100 |
|||
|
Раб. Напряжение/ мощность |
220В/1.8КВ |
220В/1.8КВ |
220В/2.6КВ |
220В/2.6КВ |
|
Нагрев. элемент |
Фехраль высокой чистоты |
|||
|
Материал камеры |
Высокотемпературное поликристаллическое волокно в виде плит на 1500С |
|||
|
Точность поддерж. темп. |
+-1 |
|||
|
Термопара |
N тип |
|||
|
Контроллер |
Shimaden (Япония) контроллер с 4 группами из 32 сегментов |
|||
|
Электронная часть |
Schneider (Франция) |
|||
|
Скорость набора темп. |
1-25С/мин |
|||
|
Система безопасности |
Оснащенный выключателем на оборудовании, он автоматически срабатывает при возникновении утечки при коротком замыкании, что обеспечивает безопасность оборудования и операторов |
|||
|
Сертификаты |
ИСО 9001/СЕ/SGS |
|||
|
Камера печи |
Сталь |
|||
|
Изоляция |
Керамическая теплоизоляция |
|||
|
Аксессуары |
Пара высокотемпературных перчаток, печной крюк, инструкция по применению |
|||
|
Опционально |
Регистратор, Кварцевые/корундовые лодочки, расходомер газа, цифровой вакуумметр |
|||
|
Структура печи |
Удобная конструкция для контроля температуры печи, открывания и закрывания печи; двойная оболочка, современная теплоизоляция для циркуляции воздуха |
|||
|
Система уплотнений |
Оба конца печной трубы снабжены металлическими фланцами из нержавеющей стали и снабжены высокотемпературными прокладками, которые могут работать в вакууме со степенью разрежения до 5Па (роторно-лопастной вакуумный насос). |
|||
|
Радиочастотный источник питания |
Частота: 13,56 МГц±0,005%, мощность: 5-500 Вт, стабильность мощности: ±0,5% |
|||
|
Контроль газа |
Дополнительный 3-канальный ручной поплавковый расходомер, диапазон измерения 60-800 мл/мин; 3-канальный автоматический расходомер, диапазон измерения 1-500 см |
|||
