Система подачи газа CVD выбирается из трех расходомеров газа, а система смешивания газа также имеет один вход и один выход. Точное управление подачей газа цифровое управление, переключатель расхода и времени подачи автоматически управляются с помощью сенсорного экрана для обеспечения автоматического управления подачей воздуха, точность: ±1 % по Фаренгейту, время отклика: 4 секунды;
Вакуумная система оснащена вакуумным насосом.
Для измерения вакуума используется цифровая композитная вакуумметрическая машина, называемая вакуумметром Pirani. Измерительный прибор интегрирован в систему контроля температуры для удобства эксплуатации.
Работой печи управляет 32-сегментный цифровой контроллер Shimaden® (Япония) со встроенным цифровым коммуникационным портом RS485 и USB-адаптером, позволяющий пользователю подключаться к a RS для дистанционного управления и мониторинга печи. Вы также можете сохранить или экспортировать результаты испытаний.
|
Модель |
STGС-25-12 |
STGС-40-12 |
STGС-60-12 |
STGС-80-12 |
STGС-100-12 |
STGС-120-12 |
|
Вн. Диам. Кварцевой трубы |
Ф25мм |
Ф40мм |
Ф60мм |
Ф80мм |
Ф100мм |
Ф120мм |
|
Длина рабочей зоны |
300мм |
300мм |
300мм |
300мм |
300мм |
300мм |
|
Тип |
настольный |
|||||
|
Структура печи |
Камера из оксида алюминия, система контроля температуры, нагревательные элементы, корпус печи, электрическая часть, аксуссуары |
|||||
|
Макс. Темп., С |
1200 |
|||||
|
Рабоч. Темп. |
1100 |
|||||
|
Раб. Напряжение/ мощность |
220В/1.8КВ |
220В/ |
220В/2.6КВ |
220В/2.6КВ |
220В/2.6КВ |
380В/4КВ |
|
Нагрев. элемент |
Фехраль высокой чистоты |
|||||
|
Материал камеры |
Высокотемпературное поликристаллическое волокно в виде плит на 1500С |
|||||
|
Точность поддерж. темп. |
+-1 |
|||||
|
Термопара |
N тип |
|||||
|
Контроллер |
Shimaden (Япония) контроллер с 4 группами из 32 сегментов |
|||||
|
Электронная часть |
Schneider (Франция) |
|||||
|
Скорость набора темп. |
До 25С/мин (рекомендовано 15С/мин) |
|||||
|
Система безопасности |
Сигнализация от перегрева и обрыва термопары |
|||||
|
Сертификаты |
ИСО 9001/СЕ/SGS |
|||||
|
Камера печи |
Сталь |
|||||
|
Изоляция |
Керамическая теплоизоляция |
|||||
|
Аксессуары |
Пара высокотемпературных перчаток, печной крюк, инструкция по применению |
|||||
|
Опционально |
Регистратор, Кварцевые/корундовые лодочки, расходомер газа, цифровой вакуумметр |
|||||
